76.2 mm（3インチ）は50mmウェハーが生産に入った直後の1973年に登場しました。3インチウェハーは現在でも多数の専門学校や大学、研究開発機関などで広く使用されています。 以下の仕様は特に需要が多いものです。その他の仕様については、SVMが誇る経験・知識豊富なセールススタッフにお尋ねください。

直径: 76.2 +/- 0.2 mm
タイプ/ドーパント: N/Phosphorus
方向: <100> +/- 1
成長方法: Cz
抵抗率: 10-20 Ω-cm
厚さ: 350-400 μm
正面: 研磨
裏面: エッチング
フラット: 2 SEMI スタンダード
エッジ: SEMIスタンダード仕様でラウンドおよび研磨

直径: 76.2 +/- 0.2 mm
タイプ/ドーパント: P/Boron
方向: <100> +/- 1
成長方法: Cz
抵抗率: 1-100 Ω-cm
厚さ: 350-400 μm
正面: 研磨
裏面: エッチング
フラット: 2 SEMI スタンダード
エッジ: SEMIスタンダード仕様でラウンドおよび研磨

直径: 76.2 +/- 0.2 mm
タイプ/ドーパント: お客様による指定
方向: お客様による指定
成長方法: Cz
抵抗率: お客様による指定
厚さ: お客様による指定
正面: 研磨
裏面: お客様による指定
フラット: 2 SEMI スタンダード
エッジ: SEMIスタンダード仕様でラウンドおよび研磨