リソグラフィグレード

リソグラフィグレードのウェハーは、非常に確固と制御された測定をするウェハーを必要とするリソグラフィあるいはフォトリソグラフィのアプリケーションに用いられます。リソウェハーは、非常に平坦なウェハー向きの、位置による表面の厚さのばらつきが無い、確固とした平坦性を持ちます。 また、ウェハーは非常に均一にドープされます。これらの要素は滑り線や圧力による破損の無い均一な膜の生成に役立ちます。これらの、 あるいはその他の仕様に関するお問い合わせはSVMの誇る 、フレンドリーで知識豊富なセールススタッフまでご連絡ください。