メカニカルグレード

メカニカルグレードのウェハーとは一般的に300 mmウェハーを指します。あらゆる直径のウェハーの仕様に適用することが可能ですが、「メカニカルグレード」という用語はほとんどの場合、300 mm仕様を指します。

メカニカルグレードのウェハーはハンドリングウェハーのことも指します。メカニカルグレードの仕様は他のウェハーのグレードほど非常に厳格なものではありません。以下はSVMが在庫に揃えているメカニカルグレードの仕様です。

直径: 300 +/- 0.5 mm
タイプ/ドーパント: P/Boron
方向: {100} +/- 1°
成長方法: Cz
抵抗率: 1-100 Ω-cm
厚さ: 750-800 μm
正面: 研磨
裏面: 研磨
ノッチ: SEMI スタンダード

直径: 300 +/- 0.5 mm
タイプ/ドーパント: P/Boron
方向: {100} +/- 1
成長方法: Cz
抵抗率: 1-100 Ω-cm
厚さ: 750-800 μm
TTV: <=2 μm
正面: 研磨
パーティクル・カウント: <=100@>=0.2 μm
裏面: 研磨
ノッチ: SEMI スタンダード