成膜

SVMではお客様のあらゆる膜種の仕様に対応できます。以下は弊社で対応できる膜種の一部です。詳細はSVMまでお問合せください。

酸化物:

• 熱酸化
• 低温酸化 (LTO)
• 酸化ドープ炭素（Low K） ブラックダイヤモンド、コーラル
• 低パーティクル酸化膜 (<100@0.2 μm)
• 厚酸化膜 (>25KA)
• PETEOS
• パーティクル高感度PETEOS (<100@0.2 μm)

窒化物:

• プラズマ窒化
• オキシナイトライド (SiON)
• LPCVD ナイトライド

特殊成膜:

• 炭化珪素
• BPSG
• ポリシリコン
• アモルファスシリコン
• フォトリソグラフィサービス
• スピンオンレジスト

メタル:

• PVD, CVD 及び電解メッキ
• Ta、TaN、Ti、TiN、TiW、W、WN、Cu、Al、Al-Cu合金、Al-Si-Cu合金
• 貴金属